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產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺
產(chǎn)品簡介
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺 探針臺主要應(yīng)用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
| 品牌 | 鄭科探 |
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氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺探針臺主要應(yīng)用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
技術(shù)參數(shù) | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ140x180 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
觀察窗尺寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺溫度 | 室溫-350℃可調(diào) |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進氣閥門 | 高精密針閥 |
抽氣閥門 | KF25真空擋板閥 |
壓力表 | 機械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個 |
探針數(shù)量 | 4個 |
探針材質(zhì) | φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選 |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動行程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網(wǎng)信號屏蔽線 |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額定電壓 | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通 | |
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